[实用新型]一种利用液晶空间光调制器的非球面干涉检测装置有效
| 申请号： | 201520654989.8 | 申请日： | 2015-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN204854623U | 公开（公告）日： | 2015-12-09 |
| 发明（设计）人： | 张洪鑫;周昊;李靓瑶;乔玉晶 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨理工大学 |
| 主分类号： | G01B9/023 | 分类号： | G01B9/023 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 150080 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种利用液晶空间光调制器的非球面干涉检测装置，涉及一种非球面干涉检测装置。它结构简单、元件数量少、装调方便、测量效率高。干涉仪提供光源和成像系统，标准平面参考镜将一部分光反射回干涉仪内部，作为参考光。另一部分光经过零位补偿透镜和液晶空间光调制器入射到非球面上，反射的光作为测试光入射到干涉仪内部，与参考光形成的干涉图像由干涉仪内部的成像系统接收。液晶空间光调制器作为计算全息图的记录介质，将测试波补偿成为近似平面波。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 利用 液晶 空间 调制器 球面 干涉 检测 装置 | ||
【主权项】：
一种利用液晶空间光调制器的非球面干涉检测装置，其特征是：它包括数字相移干涉仪（1）、标准平面参考镜（2）、光阑（3）、零位补偿透镜（4）、偏振片（5）、液晶空间光调制器（6）和计算机（8）；数字相移干涉仪（1）产生的激光入射至标准平面参考镜（2），经所述标准平面参考镜（2）分成一路反射光和一路透射光；所述一路反射光经标准平面参考镜（2）反射至数字相移干涉仪（1）作为参考光；所述一路透射光入射至光阑（3），经所述光阑（3）入射至零位补偿透镜（4），经所述零位补偿透镜（4）入射至偏振片（5），经所述偏振片（5）入射至液晶空间光调制器（6），经所述液晶空间光调制器（6）反射至待检非球面镜（7），并经待检非球面（7）反射，产生测试光，所述测试光经液晶空间光调制器（6）反射，经偏振片（5）、零位补偿透镜（4）和光阑（3）入射至标准平面参考镜（2），经标准平面参考镜入射至数字相移干涉仪（1）；所述参考光与测试光干涉，干涉图像由数字相移干涉仪（1）的成像系统接收。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于哈尔滨理工大学，未经哈尔滨理工大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201520654989.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：管理装置、管理方法、程序及记录介质
- 下一篇：一种自动闭门器件的检测设备
