[实用新型]曝光装置有效
| 申请号： | 201520657815.7 | 申请日： | 2015-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN205080365U | 公开（公告）日： | 2016-03-09 |
| 发明（设计）人： | 姜辉望;雷岩;杨海波 | 申请（专利权）人： | 深圳华祥荣正电子有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 生启 |
| 地址： | 518000 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种曝光装置。一种曝光装置，包括曝光台，所述曝光台包括曝光盘及导气条，所述曝光盘包括位于所述曝光盘的中部的承载区，所述曝光盘开设有的导气槽，所述导气槽位于承载区外侧；所述导气条形成有抽气槽，所述导气条固设于所述承载区且自所述承载区的边缘向所述承载区的中部延伸，所述抽气槽与所述导气槽连通。上述曝光装置抽真空效果较好。 | ||
| 搜索关键词： | 曝光 装置 | ||
【主权项】：
一种曝光装置，包括曝光台，其特征在于，所述曝光台包括曝光盘及导气条，所述曝光盘包括位于所述曝光盘的中部的承载区，所述曝光盘开设有的导气槽，所述导气槽位于承载区外侧；所述导气条形成有抽气槽，所述导气条固设于所述承载区且自所述承载区的边缘向所述承载区的中部延伸，所述抽气槽与所述导气槽连通。
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