[实用新型]一种用于扩散炉的气源柜机架

摘要

本实用新型公开了一种用于扩散炉的气源柜机架，包括：恒温槽区，其设于该气源柜机架内部的一个封闭区域，且位于该气源机架的上部；气路区，其设于该气源柜机架的内部，且位于该气源机架的上部与恒温槽区紧邻，气路区通过封板与恒温槽区隔开；电器元器件区，其设于该气源柜机架的内部，且位于该气源柜机架的下部，电器元器件区通过封板与恒温槽区、气路区隔开；电源区，其设于该气源柜机架的内部，且位于该气源柜机架的下部与电器元器件区相邻；石英器件区，石英器件区通过封板与气路区、电器元器件区、电源区隔开。本实用新型通过进行分区设计使电器元器件区不会受到腐蚀，增加了电器元器件的使用寿命。

主权项

一种用于扩散炉的气源柜机架，其特征在于，包括：恒温槽区（1），其设于该气源柜机架内部的一个封闭区域，且位于该气源机架的上部；气路区（2），其设于该气源柜机架的内部，且位于该气源机架的上部与恒温槽区（1）紧邻，气路区（2）通过封板与恒温槽区（1）隔开；电器元器件区（3），其设于该气源柜机架的内部，且位于该气源柜机架的下部，电器元器件区（3）通过封板与恒温槽区（1）、气路区（2）隔开；电源区（4），其设于该气源柜机架的内部，且位于该气源柜机架的下部与电器元器件区（3）相邻；石英器件区（5），其设于该气源柜机架的内部，且位于该气源机架的上部，石英器件区（5）通过封板与气路区（2）、电器元器件区（3）、电源区（4）隔开。