[实用新型]一种低压扩散炉

摘要

本实用新型涉及电池生产专用设备领域，具体涉及一种低压扩散炉，该炉门机构包括：石英炉门；冷却法兰，其嵌入石英炉门中，该冷却法兰与石英炉门的结合处设有一密封圈槽，该冷却法兰包括一与密封圈槽靠近的环形冷却管道，该环形冷却管道中通入冷却液；密封圈，其设置在密封圈槽内且部分突出，其用于在石英炉门与石英管端口法兰闭合时抵靠在石英管端口法兰的外侧面，使低压扩散炉内形成密封空间。本实用新型通过设计一种低压扩散炉，通过炉门结构使扩散炉内形成密封空间，采用密封圈提高密封效果；同时，采用冷却法兰对密封圈进行降温，确保密封圈始终工作在允许长期工作的温度条件下，提高密封圈使用效果。

主权项

一种低压扩散炉，包括石英管、石英管端口法兰和置于石英管端口法兰外侧的炉门机构，该石英管的一端设有石英管口，该石英管端口法兰设置在石英管口上，其特征在于，该炉门机构包括：石英炉门；冷却法兰，其嵌入石英炉门中，该冷却法兰与石英炉门的结合处设有一密封圈槽，该冷却法兰包括一与密封圈槽靠近的环形冷却管道，该环形冷却管道中通入冷却液；密封圈，其设置在密封圈槽内且部分突出，其用于在石英炉门与石英管端口法兰闭合时抵靠在石英管端口法兰的外侧面，使低压扩散炉内形成密封空间。