[实用新型]一种旋转式镀膜机有效
| 申请号： | 201520680097.5 | 申请日： | 2015-09-02 |
| 公开（公告）号： | CN204982037U | 公开（公告）日： | 2016-01-20 |
| 发明（设计）人： | 王先玉;夏永光 | 申请（专利权）人： | 浙江星星瑞金科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/00 | 分类号： | C23C14/00;C23C14/50 |
| 代理公司： | 台州市方圆专利事务所 33107 | 代理人： | 林米良 |
| 地址： | 318015 浙江省台*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种旋转式镀膜机，属于机械技术领域。它解决了现有的镀膜机镀膜效果不佳的技术问题。该镀膜机包括真空罩、电阻蒸发源、磁控溅射源、等离子源、工件架和能够使真空罩内部保持真空状态的真空装置，磁控溅射源和等离子源均固定在真空罩的内壁上，工件架设置在真空罩内，工件架具有底座，底座固定在真空罩的底部，电阻蒸发源固定在底座上，底座转动设置有齿轮一，齿轮一上转动设置有转轴一，转轴一上固定有齿轮二，底座为圆形且底座的外侧面上设置有与齿轮二相啮合的轮齿。该镀膜机具有镀膜效果良好、生产效率高的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 旋转 镀膜 | ||
【主权项】：
一种旋转式镀膜机，该镀膜机包括真空罩(1)、电阻蒸发源(2)、磁控溅射源(3)、等离子源(4)、工件架(5)和能够使真空罩(1)内部保持真空状态的真空装置，其特征在于，所述磁控溅射源(3)和等离子源(4)均固定在真空罩(1)的内壁上，所述工件架(5)设置在真空罩(1)内，所述工件架(5)具有底座(51)，底座(51)固定在真空罩(1)的底部，所述电阻蒸发源(2)固定在底座(51)上，所述底座(51)转动设置有齿轮一(6)，所述齿轮一(6)上转动设置有转轴一(7)，所述转轴一(7)上固定有齿轮二(8)，所述底座(51)为圆形且底座(51)的外侧面上设置有与齿轮二(8)相啮合的轮齿。
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