[实用新型]用于区熔炉的单晶夹持机构有效
申请号: | 201520683730.6 | 申请日: | 2015-09-06 |
公开(公告)号: | CN204874812U | 公开(公告)日: | 2015-12-16 |
发明(设计)人: | 王晓婧;路伟;石春梅;王真;甘小莎;马钰清;解坤 | 申请(专利权)人: | 陕西天宏硅材料有限责任公司 |
主分类号: | C30B13/00 | 分类号: | C30B13/00 |
代理公司: | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人: | 宋秀珍 |
地址: | 710006 陕西省咸阳*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 提供一种用于区熔炉的单晶夹持机构,具有均匀排布于区熔炉内支持器本体一周的支撑触头和支撑固定模块,支撑固定模块内部两侧均设有通孔和定位孔,支撑触头上均匀设有多个卡槽,支撑触头通过与通孔适配对支撑固定模块进行支撑,固定螺钉一端穿过定位孔后与支撑触头上的卡槽卡合。本实用新型能够对支撑触头的长度进行调节,满足不同直径区熔单晶生产需求,缩短生产周期,降低支撑触头的制造成本,提高单晶生长过程的稳定性,保证产品质量。 | ||
搜索关键词: | 用于 熔炉 夹持 机构 | ||
【主权项】:
用于区熔炉的单晶夹持机构,具有均匀排布于区熔炉内支持器本体(1)一周的支撑触头(2)和支撑固定模块(3),其特征在于:所述支撑固定模块(3)内部两侧均设有通孔(31)和定位孔(32),所述支撑触头(2)上均匀设有多个卡槽(21),所述支撑触头(2)通过与通孔(31)适配对支撑固定模块(3)进行支撑,固定螺钉(4)一端穿过定位孔(32)后与支撑触头(2)上的卡槽(21)卡合。
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