[实用新型]一种用于激光直写曝光机的自动吸尘装置有效
申请号: | 201520693278.1 | 申请日: | 2015-09-09 |
公开(公告)号: | CN204945620U | 公开(公告)日: | 2016-01-06 |
发明(设计)人: | 曹常瑜 | 申请(专利权)人: | 合肥芯碁微电子装备有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 合肥天明专利事务所 34115 | 代理人: | 张祥骞;奚华保 |
地址: | 230088 安徽省合肥市高新区*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种用于激光直写曝光机的自动吸尘装置,与现有技术相比解决了无法在曝光过程中对PCB板进行除尘的缺陷。本实用新型包括自吸尘组件,自吸尘组件包括固定安装在支撑平台侧部的上固定块,上固定块位于曝光机头组前部面板的下方,上固定块两端下部分别垂直安装有竖板,竖板的数量为2个,2个竖板的下部均垂直安装在下固定块上,上固定块内横向设有集尘管,吸尘管贯穿下固定块安装在上固定块上且与集尘管相通,集尘管的一端为封闭结构,集尘管的另一端贯穿上固定块且接有真空管,真空管的另一端接在工业吸尘器上。本实用新型不仅使得除尘工作实现非人工化处理,并且在曝光过程中依然可以对PCB板进行除尘作业。 | ||
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【主权项】:
一种用于激光直写曝光机的自动吸尘装置,包括机台(5),机台(5)上安装有支撑平台(8),支撑平台(8)上安装有曝光机头组(4),其特征在于:还包括自吸尘组件(1),自吸尘组件(1)包括固定安装在支撑平台(8)侧部的上固定块(11),上固定块(11)位于曝光机头组(4)前部面板的下方,上固定块(11)两端下部分别垂直安装有竖板(12),竖板(12)的数量为2个,2个竖板(12)的下部均垂直安装在下固定块(13)上,上固定块(11)内横向设有集尘管(14),吸尘管(9)贯穿下固定块(13)安装在上固定块(11)上且与集尘管(14)相通,集尘管(14)的一端为封闭结构,集尘管(14)的另一端贯穿上固定块(11)且接有真空管(6),真空管(6)的另一端接在工业吸尘器(7)上。
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