[实用新型]全自动硅片插片及清洗系统

摘要

本实用新型公开一种全自动硅片插片及清洗系统，包括用于传送空载花篮的第一传送机构、用于传送硅片第二传送机构、用于传送满载花篮的第三传送机构、能够在三个传送机构之间移动当前花篮并实现接收硅片的机械手组件、移载机构、清洗机构，移载机构通过升降控制单元、转动控制单元和伸缩控制单元能够将第三传送机构上的满载花篮自动转移至吊筐中并移至清洗机构中进行清洗。本设计中的上述全部过程都自动化操作，且结构可靠、维护方便，在降低操作人员的劳动强度的同时，能够大大提高生产效率，也降低了整个插片及清洗设备的占用空间，适于在硅片领域内推广应用。

主权项

一种全自动硅片插片及清洗系统，其实现将硅片插入花篮中并进行清洗的功能，其特征在于：包括第一传送机构、第二传送机构、第三传送机构、机械手组件、移载机构、清洗机构，所述的第一传送机构包括用于传送硅片的第一传送带；所述的第二传送机构包括用于传送空载花篮的第二传送带；所述的第三传送机构包括用于传送满载花篮的第三传送带；所述的机械手组件包括能够移动地设置在所述的第一传送带、所述的第二传送带与所述的第三传送带三者之间的用于夹持花篮的夹具；所述的移载机构包括用于收纳多个满载花篮的吊筐、用于将所述的第三传送带上的满载花篮转移至所述的吊筐中的转移组件；所述的吊筐上设置有多个具有入口的收纳空间，所述的收纳空间能够收纳多个满载花篮；所述的转移组件包括用于提取所述的第三传送带上的满载花篮的支撑部件、控制所述的支撑部件升降的升降控制单元、控制所述的支撑部件在水平面内摆动的转动控制单元、控制所述的支撑部件及其上的满载花篮移至所述的吊筐中的伸缩控制单元，所述的支撑部件具有便于提取所述的第三传送带上的满载花篮的第一位置和使满载花篮位于所述的收纳空间的入口处的第二位置；所述的伸缩控制单元具有能够将所述的支撑部件上的满载花篮推入所述的收纳空间中的伸出位置和与满载花篮相脱离的缩进位置；所述的清洗机构包括用于对硅片进行清洗的清洗槽，所述的清洗槽内盛装有清洗液。