[实用新型]光路折返装置及薄膜应力测试仪有效
| 申请号： | 201520704602.5 | 申请日： | 2015-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN205157088U | 公开（公告）日： | 2016-04-13 |
| 发明（设计）人： | 张小波;赵升升;高为民;梁凯 | 申请（专利权）人： | 深圳市速普仪器有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/24 | 分类号： | G01L1/24 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 吴平 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种光路折返装置，包括箱体、光入射窗、光学组件及光出射窗，光入射窗设于所述箱体上，光入射窗用于透过薄膜反射的入射光束；光学组件设于所述箱体内，光学组件用于对透过光入射窗的光束进行多次反射；光出射窗设于箱体上，光出射窗用于透过经过所述光学组件多次反射的出射光束。如此，通过设置该光路折返装置，使经过薄膜反射的光束的光程增加，且不用增加薄膜应力测试仪的长度，使其结构更加紧凑，降低了制造成本，且便于运输。还提供一种薄膜应力测试仪。 | ||
| 搜索关键词： | 折返 装置 薄膜 应力 测试仪 | ||
【主权项】：
一种光路折返装置，其特征在于，包括：箱体；光入射窗，设于所述箱体上，所述光入射窗用于透过薄膜反射的入射光束；光学组件，设于所述箱体内，所述光学组件用于对透过所述光入射窗的光束进行多次反射；光出射窗，设于所述箱体上，所述光出射窗用于透过经过所述光学组件多次反射的出射光束。
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