[实用新型]一种大型立式不锈钢长管离子镀膜设备有效
| 申请号： | 201520710312.1 | 申请日： | 2015-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN204939599U | 公开（公告）日： | 2016-01-06 |
| 发明（设计）人： | 李志荣;李志方;罗志明;潘锐华;冯小庭 | 申请（专利权）人： | 东莞市汇成真空科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 广州知友专利商标代理有限公司 44104 | 代理人： | 何秋林;周克佑 |
| 地址： | 523820 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种大型立式不锈钢长管离子镀膜设备，包括炉体(1)，所述炉体(1)由炉座架支撑，一端设有炉盖(9)，另一端设有炉底板，所述炉体(1)炉壁上设置有抽气口(2)和电弧源(3)，炉体(1)内壁上设置有布气管(4)，所述离子镀膜设备还包括用于安装不锈钢长管的工件架和驱动装置，所述工件架设置在所述炉体内侧，所述驱动装置位于所述炉体(1)外侧，与所述工件架相连，用于驱动所述工件架上不锈钢长管转动；所述炉体(1)竖向设置，所述抽气口(2)设于所述炉体(1)一侧炉壁的中部，所述电弧源(3)分几列轴向排布在所述抽气口(2)对侧的炉壁上，所述布气管(4)设置在相邻两列电弧源(3)之间。本实用新型可适于不锈钢长管如6M长不锈钢管镀膜的离子镀膜设备。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 大型 立式 不锈钢 离子 镀膜 设备 | ||
【主权项】：
一种大型立式不锈钢长管离子镀膜设备，包括炉体(1)，所述炉体(1)由炉座架支撑，一端设有炉盖(9)，另一端设有炉底板，所述炉体(1)炉壁上设置有抽气口(2)和电弧源(3)，炉体(1)内壁上设置有布气管(4)，所述离子镀膜设备还包括用于安装不锈钢长管的工件架和驱动装置，所述工件架设置在所述炉体内侧，所述驱动装置位于所述炉体(1)外侧，与所述工件架相连，用于驱动所述工件架上不锈钢长管转动；其特征在于，所述炉体(1)竖向设置，所述抽气口(2)设于所述炉体(1)一侧炉壁的中部，所述电弧源(3)分几列轴向排布在所述抽气口(2)对侧的炉壁上，所述布气管(4)设置在相邻两列电弧源(3)之间。
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