[实用新型]一种简易的气体混合腔有效
| 申请号： | 201520717288.4 | 申请日： | 2015-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN205223346U | 公开（公告）日： | 2016-05-11 |
| 发明（设计）人： | 彭释;张菁;李炜 | 申请（专利权）人： | 东华大学 |
| 主分类号： | C23C16/455 | 分类号： | C23C16/455 |
| 代理公司： | 上海申汇专利代理有限公司 31001 | 代理人： | 翁若莹 |
| 地址： | 201620 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种简易的气体混合腔，包括腔体，进气口，出气口。其特征在于，腔体开有第一进气口及第二进气口，在腔体内设有沿宽度方向等间距排列的第一分流管道及沿长度方向等间距排列的第二分流管道，第一分流管道及第二分流管道分别与第一进气口及第二进气口相通，第一分流管道及第二分流管道还与混气管道相通，混气管道与出气口相通。本实用新型的有益效果是：整体结构设计合理，结构简单，易用加工；气体经过多次分流和混合，多种气体相互碰撞的机会增加，混合效果良好，混合速度快。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 简易 气体 混合 | ||
【主权项】：
一种简易的气体混合腔，包括腔体(1)及出气口(6)，其特征在于，腔体(1)开有第一进气口(2)及第二进气口(3)，在腔体(1)内设有沿宽度方向等间距排列的第一分流管道(4)及沿长度方向等间距排列的第二分流管道(5)，第一分流管道(4)及第二分流管道(5)分别与第一进气口(2)及第二进气口(3)相通，第一分流管道(4)及第二分流管道(5)还与混气管道相通，混气管道与出气口相通。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
