[实用新型]一种真空镀膜设备

摘要

本实用新型提出的一种真空镀膜设备，包括设备主体，设备主体上设有观察窗，观察窗包括窗框、透镜和透镜固定框，透镜设置于窗框和透镜固定框之间，窗框和透镜固定框固接，窗框内设有循环冷却结构和遮板结构，循环冷却结构包括循环通道、冷水进口和冷水出口，遮板结构包括转动杆、遮板和把手，冷水进口和冷水出口通过管接头与冷却水管理连接，对观察窗整体进行降温，窗框与透镜固定框连接稳固，密封良好，遮板设置于观察窗一侧，可有效阻隔真空镀膜设备内的离子外漏，在需要观察时，拉动把手，即可实现遮板转动，松下把手，遮板在重力作用下，自动归位，把手外套合有硅橡胶隔热套管，可阻隔热量，具有耐高温、密封好、使用寿命长的特点。

主权项

一种真空镀膜设备，其特征在于，包括设备主体，所述设备主体上设有观察窗，所述观察窗包括窗框、由强化玻璃制成的透镜和透镜固定框，所述透镜设置于窗框和透镜固定框之间，窗框和透镜固定框通过螺栓固接。