[实用新型]翻转机构及用以翻转多个基板的输送系统

摘要

本实用新型提供一种翻转机构及用以翻转多个基板的输送系统，翻转机构包含：一枢轴、多个翻转单元及多个吸嘴；翻转单元沿所述枢轴的一旋转方向依序排列连接；吸嘴设置于翻转单元上；其中翻转机构的两侧分别具有一第一承接区域与一第二承接区域，翻转单元沿旋转方向旋转，吸嘴吸附至少一硅基板，将至少一硅基板由第一承接区域移动至第二承接区域。翻转单元在翻转速度较高情况下，小于180度的翻转落下的基板与第二承接区域之间发生的冲击力道较小，不容易造成基板的破碎或隐裂；翻转单元不需要沿旋转方向逆向由第二承接区域回到第一承接区域，不会增加等待时间，可减少制程时间；翻转单元在保护罩的包覆下，可有效避免吸嘴被粉尘堵塞。

主权项

一种翻转机构，其特征在于，包含：一枢轴；多个翻转单元，沿所述枢轴的一旋转方向排列，并连接于所述枢轴；以及多个吸嘴，设置于所述翻转单元上；其中，所述翻转机构的两侧分别设有一第一承接区域与一第二承接区域；所述翻转单元沿所述旋转方向旋转，以所述吸嘴吸附至少一硅基板，将所述至少一硅基板由所述第一承接区域移动至所述第二承接区域。