[实用新型]一种基于悬浊液靶材的微细结构激光诱导植入装置

摘要

本实用新型公开了一种基于悬浊液靶材的微细结构激光诱导植入装置，包括激光射入系统、玻璃器皿、三维微细工作平台、计算机及运动控制系统，所述激光射入系统包括激光器、反射镜和凸透镜，所述玻璃器皿内设有含有微细颗粒的悬浊液和基材，基材位于玻璃器皿的底部，激光器产生的高能脉冲激光经过激光射入系统中的反射镜由凸透镜进行聚焦至基材需要植入微细颗粒的位置；所述三维微细工作平台在计算机及运动控制系统的控制下作垂直和水平方向的运动。本实用新型采用的激光能量不是直接作用于植入靶材上，不会破坏靶材，采用含有微细颗粒的任意深度的悬浊液，源源不断补充植入靶材，以提高连续制备微细结构的效率。

主权项

一种基于悬浊液靶材的微细结构激光诱导植入装置，其特征在于，包括激光射入系统、玻璃器皿（7）、三维微细工作平台（13）、计算机(3)及运动控制系统（2），所述激光射入系统包括激光器（1）、反射镜（4）和凸透镜（6），所述玻璃器皿（7）内设有含有微细颗粒（8）的悬浊液（10）和基材（12），基材（12）位于玻璃器皿（7）的底部，激光器（1）产生的高能脉冲激光（5）经过激光射入系统中的反射镜（4）由凸透镜（6）进行聚焦至基材（12）需要植入微细颗粒的位置；所述三维微细工作平台（13）在计算机(3)及运动控制系统（2）的控制下作垂直和水平方向的运动。