[实用新型]一种用于高光谱成像的波段选择性增强量子阱红外焦平面

摘要

本专利公开了一种用于高光谱成像的波段选择性增强量子阱红外焦平面。将等离激元微腔集成到QWIP焦平面像元，该微腔能够有效地捕获入射光子，将其局域在等离激元微腔内形成横向传播的法布里-珀罗共振驻波，并且与微腔中的QWIP耦合转化为光电流从而提升焦平面器件的响应率性能。共振驻波的中心波长取决于微腔的几何尺寸，在不同的焦平面像元上设计制备不同尺寸的微腔将使像元的响应峰值波长也各不相同，形成像元的波段选择性响应。将所选择的波段与高光谱分光波段相对应地分布在焦平面像元上，使高光谱成像应用中各波段的像元响应率得的选择性提升，从而提升整个高光谱成像焦平面的探测灵敏度。

主权项

一种用于高光谱成像的波段选择性增强量子阱红外焦平面，其结构为：以入射光经过先后为序依次是金属阵列层(1)，QWIP焦平面像元(2)，下层金属反射层(3)，焦平面倒焊互联铟柱层(4)，其特征在于：所述的金属阵列层(1)中，其阵列单元包含金属方块或金属条，在金属方块的情况下，为周期为p、线宽为s、厚度为h1的二维周期排列的金属方块阵列；在金属条的情况下，为周期为p、线宽为s、厚度为h1的一维周期排列的金属条阵列；所述周期p的数值不大于焦平面像元中心距14‑30微米，所述线宽s的范围为探测波长的十分之一到十分之十之间，所述厚度h1应不小于以微米为单位的探测波长的平方根的0.0048倍。