[实用新型]火焰水解蒸镀装置

摘要

本实用新型涉及一种火焰水解蒸镀装置，其特征在于，作为通过吹管产生火焰并加水分解反应气体来生成生成物而蒸镀在晶片上的火焰水解蒸镀装置，所述吹管通过多个被分开的分歧管而被供应所述反应气体及用于生成所述火焰的燃烧气体，吹管下端的外侧与拆卸式的保护管结合而能够选择性地仅更换所述保护管。本实用新型在吹管的外侧适用飞散防止部而防止了反应物的飞散，能够节减制造费用，并且连续工艺中无需清洗飞散的反应物，能够提高生产率。

主权项

一种火焰水解蒸镀装置，作为通过吹管产生火焰并加水分解反应气体从而生成生成物蒸镀在晶片上的火焰水解蒸镀装置，其特征在于，所述吹管通过多个被分开的分歧管而被供应所述反应气体及用于生成所述火焰的燃烧气体，吹管下端的外侧与拆卸式的保护管结合而能够选择性地仅更换所述保护管。