[实用新型]一种石墨舟的推舟装置有效
| 申请号： | 201520756286.6 | 申请日： | 2015-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN205024323U | 公开（公告）日： | 2016-02-10 |
| 发明（设计）人： | 张宇;吴德轶 | 申请（专利权）人： | 湖南红太阳光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/44 | 分类号： | C23C16/44 |
| 代理公司： | 湖南兆弘专利事务所 43008 | 代理人： | 周长清;戴玲 |
| 地址： | 410205 湖南省*** | 国省代码： | 湖南;43 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种石墨舟的推舟装置，包括装载机构、水平运动机构和推舟，所述推舟固定在所述水平运动机构的滑块上，所述装载机构后端固定于所述推舟上，前端悬空设置，所述石墨舟放置在所述装载机构的前端，所述装载机构前端与后端之间设有用于加强装载机构前端刚性的斜拉件。本实用新型采用斜拉件，提高了装载机构的整体刚性，减小了装载机构的变形，改善了石墨舟在前进和后退过程中的抖动现象，在一定程度上避免了因石墨舟进舟过程中抖动而造成的硅片成膜质量差的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石墨 装置 | ||
【主权项】：
一种石墨舟的推舟装置，包括装载机构（1）、水平运动机构（2）和推舟（3），所述推舟（3）固定在所述水平运动机构（2）的滑块上，所述装载机构（1）后端固定于所述推舟（3）上，前端悬空设置，所述石墨舟（4）放置在所述装载机构（1）的前端，其特征在于：所述装载机构（1）前端与后端之间设有用于加强装载机构（1）前端刚性的斜拉件（5）。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于湖南红太阳光电科技有限公司，未经湖南红太阳光电科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201520756286.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
