[实用新型]一种铸锭气流场装置以及铸锭炉有效
申请号: | 201520769727.6 | 申请日: | 2015-09-30 |
公开(公告)号: | CN204982135U | 公开(公告)日: | 2016-01-20 |
发明(设计)人: | 闫灯周;张朝昆;李林东;陈伟;肖贵云;李亮;金浩 | 申请(专利权)人: | 晶科能源有限公司;浙江晶科能源有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 罗满 |
地址: | 334100 江西*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种铸锭气流场装置,包括设置于铸锭炉内侧壁上的引流部件,所述引流部件的输出端与所述铸锭炉的出气孔相连通,所述引流部件的引流口低于所述铸锭炉的坩埚底部。除此之外,本实用新型实施例提供的铸锭炉,包括铸锭炉体和如上述所述的铸锭气流场装置,所述铸锭气流场装置的引流部件设置于所述铸锭炉体的内壁,所述引流部件的输出端与所述铸锭炉的出气孔相连通。所述铸锭气流场装置以及所述铸锭炉,通过在铸锭炉内侧壁上加装引流部件,迫使氩气流从进气孔进入炉腔后经过整个铸锭坩埚后,通过引流部件从出气孔流出炉腔,将整个坩埚散发出的杂质气体和氧气带出铸锭炉腔,减少多晶硅锭的杂质,提高硅片质量,提高多晶硅锭的成晶率。 | ||
搜索关键词: | 一种 铸锭 气流 装置 以及 | ||
【主权项】:
一种铸锭气流场装置,其特征在于,包括设置于铸锭炉内侧壁上的引流部件,所述引流部件的输出端与所述铸锭炉的出气孔相连通,所述引流部件的引流口低于所述铸锭炉的坩埚底部。
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