[实用新型]一种硅片切割机用切削液去水装置

摘要

本实用新型涉及一种硅片切割机用切削液去水装置，解决了现有技术中切削液去水装置排除的切削液、水蒸汽温度高，容易造成安全事故的不足。本实用新型提供的一种硅片切割机用切削液去水装置，包括壳体，在壳体内设置有加热室，加热室内设有加热体，切削液由进水接口进入内腔内，然后再由供水口进入加热室，被位于加热室内的加热体加热，位于加热室内的切削液受热造成切削液内的水变成水蒸汽，位于加热室内的水蒸汽由排汽管排出，而去水后的切削液则由排水口排出，完成切削液的去水过程；相对于现有技术中的蒸馏设备，本技术方案结构简单，降低了切削液去水装置的生产成本。

主权项

一种硅片切割机用切削液去水装置，其特征在于：包括具有内腔(1)的壳体(2)，所述壳体(2)上设有进水接口(3)和出水接口(4)，所述壳体(2)上端还设有与内腔(1)相通的通气孔(5)，所述内腔(1)内设有加热室(6)，所述加热室(6)内设有加热体(7)，所述进水接口(3)与内腔(1)相通，所述出水接口(4)通过出水管(8)与加热室(6)相通，所述加热室(6)上开设有与出水管(8)相接的排水口(9)，所述壳体(2)上还设有排汽口(10)，所述加热室(6)上端设有排汽嘴(11)，所述排汽嘴(11)与排汽口(10)之间通过排汽管(12)相通，所述加热室(6)固定在壳体(2)上，所述加热室(6)与内腔(1)通过开设在加热室(6)上的供水口(13)相通，所述进水接口(3)由安装在内腔(1)侧壁上的浮子液位开关(14)控制开闭，所述供水口(13)的水平高度低于排水口(9)的水平高度，所述排汽管(12)和出水管(8)均盘绕在内腔(1)内，所述排汽管(12)与排汽嘴(11)之间设有连接管(15)，所述连接管(15)包括与排汽嘴(11)相接的第一接口(16)和与排汽管(12)相接的第二接口(17)，所述第二接口(17)的水平高度低于第一接口(16)的水平高度。