[实用新型]一种硅片传送矫正装置

摘要

本实用新型公开了一种硅片传送矫正装置，包括硅片夹持组件和皮带支撑模块，硅片夹持组件包括定位电机支撑底板，定位电机支撑底板一端固定有定位电机，定位电机通过联轴器连接有固定于定位电机支撑底板上的丝杠，丝杠上的两侧对称串接有两个与定位电机之间驱动连接的皮带支撑模块；皮带支撑模块包括皮带驱动电机支撑底座，皮带驱动电机支撑底座上设有皮带驱动电机，皮带驱动电机的输出端设有皮带驱动轮，皮带驱动电机支撑底座上以丝杠轴向为中心线的两侧分别设有第一惰轮和第二惰轮，第一惰轮和第二惰轮之间还设有导向惰轮，皮带驱动轮与第一惰轮、第二惰轮和导向惰轮之间通过皮带驱动连接。

主权项

 一种硅片传送矫正装置，包括硅片夹持组件和皮带支撑模块（5），其特征在于，所述硅片夹持组件包括定位电机支撑底板（1），所述定位电机支撑底板（1）一端固定有定位电机（2），所述定位电机（2）通过联轴器（3）连接有固定于所述定位电机支撑底板（1）上的丝杠（6），所述丝杠（6）上的两侧对称串接有两个与所述定位电机（2）之间驱动连接的皮带支撑模块（5）；所述皮带支撑模块（5）包括皮带驱动电机支撑底座（8），所述皮带驱动电机支撑底座（8）上设有皮带驱动电机（9），所述皮带驱动电机（9）的输出端设有皮带驱动轮（10），其中，所述皮带驱动电机支撑底座（8）上以丝杠（6）轴向为中心线的两侧分别设有第一惰轮（12）和第二惰轮（11），并且，所述第一惰轮（12）和第二惰轮（11）之间还设有导向惰轮（13），所述皮带驱动轮（10）与所述第一惰轮（12）、第二惰轮（11）和导向惰轮（13）之间通过皮带（15）驱动连接。