[实用新型]一种微纳电极有效
| 申请号： | 201520779179.5 | 申请日： | 2015-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN205049158U | 公开（公告）日： | 2016-02-24 |
| 发明（设计）人： | 陆伟华;宋凤麒;谢波 | 申请（专利权）人： | 苏州新锐博纳米科技有限公司 |
| 主分类号： | G01D5/12 | 分类号： | G01D5/12 |
| 代理公司： | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 | 代理人： | 陈建和 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种微纳电极，包括绝缘衬底（1）和电极（2），电极（2）设置在绝缘衬底（1）内，电极（2）呈现螺旋状。通过改变电极的内部结构，将通常的叉指状改为螺旋状，当用于力学传感器测量时，螺旋状的微纳电极能够保持每个测量方向的灵敏度一致，提高了测量灵敏度，避免了测量误差，使用更加方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电极 | ||
【主权项】：
一种微纳电极，其特征在于：包括绝缘衬底(1)和电极对(2)，所述电极对(2)设置在所述绝缘衬底(1)上，所述电极对(2)为镜像对称的一对平面螺旋状金属，这一对平面螺旋状金属的螺旋交错分布。
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