[实用新型]一种新型免维护高效靶材机构有效
| 申请号： | 201520793007.3 | 申请日： | 2015-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN205046192U | 公开（公告）日： | 2016-02-24 |
| 发明（设计）人： | 黄裕祥 | 申请（专利权）人： | 广东耐信镀膜科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 511400 广东省广州市广州高新技术产业开*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种新型免维护高效靶材机构，包括靶材、阳极组件及阴极电极；所述靶材的外侧固定有保护圈，其中心位置处安装有靶材组件；所述靶材组件的外侧套接有贯穿件，其底部连接有冷水供应装置；所述保护圈的左侧设置有双电刷；所述电刷的底部连接有背板；所述背板的上方，且位于电刷的另一侧安装有磁体，其下方，且位于所述磁体的一侧连接有旋转马达。本实用新型的新型免维护高效靶材机构，工作性能稳定，解决了设备维修周期过短的问题，大幅度提高了靶材的利用率和生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 维护 高效 机构 | ||
【主权项】：
一种新型免维护高效靶材机构，其特征在于：包括靶材、阳极组件及阴极电极；所述靶材的外侧固定有保护圈，其中心位置处安装有靶材组件；所述靶材组件的外侧套接有贯穿件，其底部连接有冷水供应装置；所述保护圈的左侧设置有双电刷；所述电刷的底部连接有背板；所述背板的上方，且位于电刷的另一侧安装有磁体，其下方，且位于所述磁体的一侧连接有旋转马达；所述靶材组件与旋转马达间安装有传动机构；所述传动机构由安装于旋转马达上的主传动带轮，及套接于靶材组件上的从传动带轮，及连接主传动带轮和从传动带轮的传动轴构成；所述阳极组件设置于靶材的上方；所述阴极电极安装于背板下方；所述背板的两端安装有联接法兰。
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