[实用新型]一种多晶硅切片机工艺水余热回用循环系统

摘要

一种多晶硅切片机工艺水余热回用循环系统，包括连接切片机冷却水系统的工艺水泵，工艺水泵经阀门2一路连接冬用板式换热器另一路连接夏用板式换热器，冬用板式换热器经冷水机、冷却塔、冷却水泵、阀门3连接切片机冷却水系统，所述夏用板式换热器一路经阀门4、水池、冷冻水泵连接冷水机，夏用板式换热器另一路经阀门5连接冷水机，所述阀门2与冬用板式换热器之间和阀门3与夏用板式换热器之间设有阀门1，所述阀门4一端经阀门6连接自来水管，所述阀门5一端经阀门7连接自来水管。解决了多晶硅硅片在冬季自来水水温低于10℃时，硅片在表面清洗过程中温差大而引起的碎片、破片率高的，导致生产成本率下降的突出问题，具有管网结构简单、改造成本低、节能效果明显的特点，且便于安装、操作简单、工艺方案便捷安全的优点。

主权项

一种多晶硅切片机工艺水余热回用循环系统，包括连接切片机冷却水系统的工艺水泵，工艺水泵经阀门2一路连接冬用板式换热器另一路连接夏用板式换热器，冬用板式换热器经冷水机、冷却塔、冷却水泵、阀门3连接切片机冷却水系统，所述夏用板式换热器一路经阀门4、水池、冷冻水泵连接冷水机，夏用板式换热器另一路经阀门5连接冷水机，其特征在于，所述阀门2与冬用板式换热器之间和阀门3与夏用板式换热器之间设有阀门1，所述阀门4一端经阀门6连接自来水管，所述阀门5一端经阀门7连接自来水管。