[实用新型]一种负压承载装置有效

专利信息
申请号: 201520799135.9 申请日: 2015-10-16
公开(公告)号: CN204991666U 公开(公告)日: 2016-01-20
发明(设计)人: 亓凯 申请(专利权)人: 山东百利通亚陶科技有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/673
代理公司: 济南舜源专利事务所有限公司 37205 代理人: 闫晓燕
地址: 250103 山东*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 实用新型涉及一种负压承载装置。它包括承载座、吸尘分类装置和抽真空装置;承载座包括底座,支架将凹腔分隔为若干个凹腔单体,在支架上固连有盖合凹腔的盖板,盖板上密布有若干个与凹腔相连通的吸孔,在承载座一侧设有气体分流器,每个凹腔单体通过第一管路与气体分流器相连;吸尘分类装置包括箱体,两挡板与箱体内壁之间形成铁屑收集室,两挡板之间的箱体底部设有出气孔,在箱盖上设有进气孔,气体分流器通过第二管路与进气孔相连;抽真空装置通过第三管路与出气孔相连。本实用新型使用时将掩膜的拆卸工序放在承载座上进行,承载座上表面形成负压状态,螺丝间残存的铁屑、脏污能够通过吸孔清除,从而保证了产品的质量,维护了生产环境。
搜索关键词: 一种 承载 装置
【主权项】:
一种负压承载装置,其特征在于:包括承载座、吸尘分类装置和抽真空装置;承载座包括底座,在底座上表面设有凹腔,在凹腔内设有支架,支架将凹腔分隔为若干个凹腔单体,在支架上固连有盖合凹腔的盖板,盖板上密布有若干个与凹腔相连通的吸孔,在承载座一侧设有气体分流器,每个凹腔单体通过第一管路与气体分流器相连;吸尘分类装置包括箱体,箱体的顶部开口设置,在箱体顶部设有与其活动连接的箱盖,在箱体底部设有竖直、平行设置的两挡板,在两挡板外侧上方的箱体内壁上设有电磁铁,两挡板与箱体内壁之间形成铁屑收集室,两挡板之间的箱体底部设有出气孔,在箱盖上设有进气孔,进气孔正对应于两挡板之间的位置设置,气体分流器通过第二管路与进气孔相连;抽真空装置通过第三管路与出气孔相连。
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