[实用新型]一种MIM结构

摘要

本实用新型提供一种MIM结构，包括第一MIM结构和第二MIM结构、顶层金属层和保险丝(Metal Fuse)；所述第一MIM结构包括第一金属层、第一介质层和第一上极板；所述第二MIM结构包括第二金属层、第二介质层和第二上极板；所述顶层金属层包括第一顶层金属层、第二顶层金属层和第三顶层金属层；第二金属层通过第一通孔与第一上极板电连；第一顶层金属层通过第二通孔与第二金属层电连；第二顶层金属层通过第三通孔与第二上极板电连，第三顶层金属层通过第四通孔与第一金属层电连；所述保险丝形成于第二顶层金属层和第三顶层金属层之间。本实用新型在第二顶层金属层和第三顶层金属层之间设置保险丝，通过保险丝是否熔断，并使三个焊垫(Pad)处于不同的电性状态，从而获得具有不同电容值的MIM结构。

主权项

一种MIM结构，其特征在于，所述MIM结构至少包括：第一MIM结构和第二MIM结构、顶层金属层以及保险丝；所述第一MIM结构包括：第一金属层、形成于所述第一金属层表面的第一介质层、以及形成于所述第一介质层表面的第一上极板；所述第二MIM结构包括：第二金属层、形成于所述第二金属层表面的第二介质层、以及形成于所述第二介质层表面的第二上极板；所述顶层金属层包括：第一顶层金属层、第二顶层金属层和第三顶层金属层；所述第二金属层通过第一通孔与所述第一上极板电连；所述第一顶层金属层通过第二通孔与所述第二金属层电连；所述第二顶层金属层通过第三通孔与所述第二上极板电连，所述第三顶层金属层通过第四通孔与所述第一金属层电连；所述保险丝形成于所述第二顶层金属层和第三顶层金属层之间。