[实用新型]用于制造高纯料底部石英坩埚的成型棒结构有效
申请号: | 201520817523.5 | 申请日: | 2015-10-20 |
公开(公告)号: | CN205024351U | 公开(公告)日: | 2016-02-10 |
发明(设计)人: | 祝立君;韩东;赵亮;杜兴林 | 申请(专利权)人: | 内蒙古欧晶石英有限公司 |
主分类号: | C30B15/10 | 分类号: | C30B15/10;C30B29/06 |
代理公司: | 锦州辽西专利事务所 21225 | 代理人: | 赵月娜 |
地址: | 010070 内蒙古自*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种用于制造高纯料底部石英坩埚的成型棒结构,其特征在于:所述成型棒的外轮廓由从上至下依次相接的直壁段、接近于成型坩埚底部的外轮廓并与其平行的外凸段、接近于成型坩埚底部的内轮廓并与其平行的内凹段组成,所述直壁段与成型坩埚直壁段的内轮廓之间留有间距,所述内凹段一直延伸至坩埚对称轴,所述外凸段和直壁段之间利用圆弧过渡。其结构简单,使用可靠,操作方便,减少乃至消除石英坩埚因底部析晶造成的渗硅现象。 | ||
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【主权项】:
一种用于制造高纯料底部石英坩埚的成型棒结构,其特征在于:所述成型棒的外轮廓由从上至下依次相接的直壁段、接近于成型坩埚底部的外轮廓并与其平行的外凸段、接近于成型坩埚底部的内轮廓并与其平行的内凹段组成,所述直壁段与成型坩埚直壁段的内轮廓之间留有间距,所述内凹段一直延伸至坩埚对称轴,所述外凸段和直壁段之间利用圆弧过渡。
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