[实用新型]一种半导体等离子体处理装置的上盖板开启装置有效
| 申请号： | 201520821306.3 | 申请日： | 2015-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN205081087U | 公开（公告）日： | 2016-03-09 |
| 发明（设计）人： | 马壮;李思 | 申请（专利权）人： | 沈阳拓荆科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/02 | 分类号： | H01J37/02 |
| 代理公司： | 沈阳维特专利商标事务所(普通合伙) 21229 | 代理人： | 李绪岩 |
| 地址： | 110179 辽宁省*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 一种半导体等离子体处理装置的上盖板开启装置，包括上铰链和下铰链，两者通过定位连接销连接。上铰链与上盖板固定连接，下铰链与腔体的外壁固定连接。上铰链上设有上定位孔，其下端的平面为上盖板接触面；下铰链的上端设有下定位孔，其侧面的平面为腔体接触面，在腔体接触面上设有固定销轴。本实用新型准确定位上盖板和腔体外壁，以避免上盖板与密封圈、衬垫和腔体之间的摩擦，避免设备的损伤，改善腔体密封性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 等离子体 处理 装置 盖板 开启 | ||
【主权项】：
一种半导体等离子体处理装置的上盖板开启装置，其特征在于：包括上铰链和下铰链，两者通过定位连接销连接；上铰链与上盖板固定连接，下铰链与腔体的外壁固定连接；上铰链上设有上定位孔，其下端的平面为上盖板接触面；下铰链的上端设有下定位孔，其侧面的平面为腔体接触面，在腔体接触面上设有固定销轴。
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