[实用新型]一种基于柔顺机构的一维平动微操作平台

摘要

本实用新型公开了一种基于柔顺机构的一维平动微操作平台，包括静平台、动平台和连接静平台与动平台的对称结构支链，支链由一级杠杆放大机构和二级杠杆放大机构组成。一级杠杆放大机构由杆(3.1)、(3.2)、(3.3)和直圆型柔性铰链(4.1)、(4.2)、(4.3)构成，铰链(4.3)为杠杆机构的支点；二级杠杆放大机构由杆(3.1)、(3.4)、(2)、直圆型铰链(4.4)和直角型柔性铰链(5.1)、(5.2)构成，当一级杠杆放大机构输出位移作为位移输入时，铰链(5.1)为杠杆机构支点，当杆(3.1)输入位移作为位移输入时，铰链(5.2)为杠杆机构支点，二级放大杠杆机构的放大倍数是两种情况综合作用的效果。本实用新型通过对称的一级和二级杠杆放大机构组成差动式杠杆，根据差动式杠杆放大原理实现动平台在其工作平面内做大行程的单向快速移动，具有工作空间大、动态响应速度快等特点，适用于微机械制造、超精密加工和集成电路制造等领域。

主权项

一种一维平动单自由度微操作平台，包括静平台、动平台和连接静平台与动平台的支链，其特征在于所述动平台通过由一级杠杆放大机构和二级杠杆放大机构组成的支链和静平台相连,其中一级杠杆放大机构由杆(3.1)、(3.2)、(3.3)和直圆型柔性铰链(4.1)、(4.2)、(4.3)构成，铰链(4.3)为杠杆机构的支点,二级杠杆放大机构由杆(3.1)、(3.4)、(2)、直圆型铰链(4.4)和直角型柔性铰链(5.1)、(5.2)构成，当一级杠杆放大机构输出位移作为位移输入时，铰链(5.1)为杠杆机构支点，当杆(3.1)输入位移作为位移输入时，铰链(5.2)为杠杆机构支点，二级放大杠杆机构的放大倍数是两种情况综合作用的效果。