[实用新型]一种自动晶圆转换器有效
| 申请号： | 201520828833.7 | 申请日： | 2015-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN205194663U | 公开（公告）日： | 2016-04-27 |
| 发明（设计）人： | 沈顺金 | 申请（专利权）人： | 安徽超元半导体有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海集信知识产权代理有限公司 31254 | 代理人： | 任永武 |
| 地址： | 247100 安徽省池州市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种自动晶圆转换器，涉及半导体制造设备技术领域，包括底座、定位传感器、马达、推杆、转换开关，所述定位传感器安装在底座上表面，所述马达安装在底座下表面，所述底座一端开设有凹槽，所述推杆与马达相连，推杆在马达的带动下可以在底座凹槽上左右滑动，所述转换开关与定位传感器、马达通过电路连接。本实用新型晶圆转换器，通过定位传感器自动确认晶舟盒以及内部晶圆的摆放位置，当所有位置都摆放正确后，接通马达电源，打开转换开关由马达带动推杆，进行晶圆的晶舟盒自动转换；具有结构简单、成本低的特点，不仅可以避免晶圆刮伤,而且还可以有效地避免晶圆的斜插、迭片、槽位放置错误。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 自动 转换器 | ||
【主权项】：
一种自动晶圆转换器，其特征在于：包括底座、定位传感器、马达、推杆、转换开关，所述定位传感器安装在底座上表面，所述马达安装在底座下表面，所述底座一端开设有凹槽，所述推杆与马达相连，推杆在马达的带动下可以在底座凹槽上左右滑动，所述转换开关与定位传感器、马达通过电路连接。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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