[实用新型]一种蒸着装置及蒸着装置组有效
| 申请号： | 201520832871.X | 申请日： | 2015-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN205170963U | 公开（公告）日： | 2016-04-20 |
| 发明（设计）人： | 解博 | 申请（专利权）人： | 上海天马有机发光显示技术有限公司;天马微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 深圳中一专利商标事务所 44237 | 代理人： | 张全文 |
| 地址： | 200120 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种蒸着装置，用于加热材料并使材料变成气体状态，包括盛放装置以及设置于盛放装置外部的加热装置，所述加热装置包括：将所述盛放装置容纳于内并可拆分为两半的壳罩以及固定设置于所述壳罩下部并与壳罩之间形成密闭腔的超导液槽，所述超导液槽用于盛放超导液，所述壳罩的内部贴附于所述盛放装置的外部。一种蒸着装置组，包括至少二上述蒸着装置，所述蒸着装置的所述壳罩侧表面对齐贴合。本实用新型提供一种蒸着装置及蒸着装置组，可用于有机发光装置的有机材料蒸镀，蒸镀过程中温度易于控制，有机材料整体温度均一性好，能够防止有机材料蒸着过程中发生喷溅，避免出现堵孔现象，从而使得有机材料蒸镀速率更加稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 着装 | ||
【主权项】：
一种蒸着装置，用于加热材料并使材料变成气体状态，包括盛放装置，其特征在于，还包括设置于盛放装置外部的加热装置，所述加热装置包括：将所述盛放装置容纳于内并可拆分为两半的壳罩；以及固定设置于所述壳罩下部并与壳罩之间形成密闭腔的超导液槽，所述超导液槽用于盛放超导液，所述壳罩的内部贴附于所述盛放装置的外部。
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