[实用新型]一种硼扩散炉及其炉门

摘要

本实用新型公开了一种硼扩散炉的炉门，包括石英炉门本体，该炉门还包括与所述石英炉门本体的内端面相连，且在所述石英炉门本体关闭时嵌入炉管内的石英挡盘，所述石英挡盘的直径与所述炉管的直径相等。由于在石英炉门本体的内端面上设置了石英挡盘，该石英挡盘的直径与炉管的直径相等，并且在石英炉门本体关闭时该石英挡盘可以嵌入炉管内，因而该石英挡盘可以有效阻止炉管内的硼源与石英炉门本体接触，大部分的硼源将被石英挡盘阻挡在远离石英炉门本体的位置，这就减少了硼源与石英炉门本体发生的化学反应，延缓了石英炉门本体被腐蚀的速度，因此也就延长了炉门的使用寿命。本实用新型还公开了一种具有上述炉门的硼扩散炉。

主权项

一种硼扩散炉的炉门，包括石英炉门本体(1)，其特征在于，还包括与所述石英炉门本体(1)的内端面相连，且在所述石英炉门本体(1)关闭时嵌入炉管(4)内的石英挡盘(2)，所述石英挡盘(2)的直径与所述炉管(4)的直径相等。