[实用新型]真空反应炉和真空泵之间的过滤缓冲装置有效

专利信息
申请号: 201520848924.7 申请日: 2015-10-29
公开(公告)号: CN205079615U 公开(公告)日: 2016-03-09
发明(设计)人: 闫安;李壮;徐令东 申请(专利权)人: 大连华升精密铸件制造有限公司
主分类号: F27D7/06 分类号: F27D7/06;B01D46/00
代理公司: 大连东方专利代理有限责任公司 21212 代理人: 赵淑梅;李洪福
地址: 116000 辽宁省*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要: 实用新型公开了一种真空反应炉和真空泵之间的过滤缓冲装置,包括真空反应炉和真空泵;真空反应炉依次通过第一传输段、第二传输段和过滤腔同真空泵连接,第一传输段水平设置,过滤腔竖直设置,第一传输段和过滤腔之间通过弧形管道的第二传输段连接,第二传输段的内壁顶部设置有多个上导向板,内壁底部设置有多个下导向板,经过上导向板的气流通过上导向板导向下导向板的正面,经过下导向板的气流通过下导向板导向上导向板的正面。本实用新型所述的真空反应炉和真空泵之间的过滤缓冲装置,使经过第二传输段的气流通过弧形管道缓冲,减少真空泵运转时吸入空气的流量,进而减小空气流动对真空室内物体的作用力,并减少灰尘杂物对真空泵旋片的损害。
搜索关键词: 真空 反应炉 真空泵 之间 过滤 缓冲 装置
【主权项】:
一种真空反应炉和真空泵之间的过滤缓冲装置,包括真空反应炉(1)和真空泵(7);其特征在于:真空反应炉(1)依次通过第一传输段(4)、第二传输段(5)和过滤腔(6)同真空泵(7)连接,第一传输段(4)水平设置,过滤腔(6)竖直设置,第一传输段(4)和过滤腔(6)之间通过弧形管道的第二传输段(5)连接,第二传输段(5)的内壁顶部设置有多个上导向板(51),内壁底部设置有多个下导向板(52),经过上导向板(51)的气流通过上导向板(51)导向下导向板(52)的正面,经过下导向板(52)的气流通过下导向板(52)导向上导向板(51)的正面。
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