[实用新型]适用于高气压下的Rheed荧光屏金属屏蔽罩有效
| 申请号： | 201520849342.0 | 申请日： | 2015-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN205140923U | 公开（公告）日： | 2016-04-06 |
| 发明（设计）人： | 马建行;陆伟华;邵玮 | 申请（专利权）人： | 苏州新锐博纳米科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/06 | 分类号： | H01J37/06;H01J37/02 |
| 代理公司： | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 | 代理人： | 陈建和 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种适用于高气压下的Rheed荧光屏金属屏蔽罩，在分子束外延生长的实时监测荧光屏的前面放置一个屏蔽罩，所述屏蔽罩纵截面为锥台形的金属短管，锥台形金属短管的大口径端与荧光屏座接触并压紧荧光屏座，锥台形的斜线与分子束外延的水平线呈20-35度角。通过在荧光屏的前端安置一个锥台形短管，工作时，可以让电子束通过锥台形短管的小孔入射到荧光屏上成像，可以有效地保护荧光屏，在工作中，防止蒸发源蒸出的材料附着到荧光屏上面，污染荧光屏。 | ||
| 搜索关键词： | 适用于 压下 rheed 荧光屏 金属 屏蔽 | ||
【主权项】：
一种适用于高气压下的Rheed荧光屏金属屏蔽罩，其特征是在分子束外延生长的实时监测荧光屏的前面放置一个屏蔽罩，所述屏蔽罩纵截面为锥台形的金属短管，锥台形金属短管的大口径端与荧光屏座接触并压紧荧光屏座，锥台形的斜线与分子束外延的水平线呈20‑35度角。
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