[实用新型]一种化学气相沉积工艺设备

摘要

本实用新型提供了一种化学气相沉积工艺设备，主要包括依次连接的反应源、总管路、设置有气动阀的传输管路、喷嘴、气体混合槽、气体喷头、工艺腔体和真空及废气处理系统，其中，传输管路还与设置有控制阀的吹扫气体管路连接；驱动气管、引出气管和气动阀通过三通管连接；驱动气管和引出气管设置有开关。本实用新型通过与驱动气管、引出气管和气动阀连接的三通管以及设置于驱动气管和引出气管上的开关控制气动阀，使吹扫气体管路提供正压的吹扫气体吹扫喷嘴、气体混合槽，然后通过气体喷头吹出，避免空气进入管路及设备，从而防止管路及设备污染，避免由于内部污染引起的缺陷颗粒问题，降低生产产品缺陷数量，减少设备恢复时间，延长备件使用时间。

主权项

一种化学气相沉积工艺设备，包括:与一反应源连接的总管路；与所述总管路并行连接的第一传输管路和第二传输管路；与所述第一传输管路和第二传输管路连接的吹扫气体管路；设置于所述第一传输管路上的第一气动阀、设置于所述第二传输管路上的第二气动阀以及设置于所述吹扫气体管路的控制阀；与所述第一气动阀连接并能驱动所述第一气动阀的第一驱动气管，与所述第二气动阀连接并能驱动所述第二气动阀的第二驱动气管；依次与所述第一传输管路连接的喷嘴、气体混合槽、气体喷头、工艺腔体和真空及废气处理系统，所述真空及废气处理系统与所述第二传输管路连接；其特征在于，所述化学气相沉积工艺设备还包括：设置于所述第一驱动气管上第一驱动开关；第一引出气管以及设置于所述第一引出气管上第一引出开关；与所述第一驱动气管、第一引出气管和第一气动阀连接的第一三通管。