[实用新型]一种基于氮化镓的静电梳状驱动式微镜

摘要

本实用新型是一种基于硅基氮化镓的静电梳状驱动式微镜。该微镜是将氮化镓材料生长在硅上,总共包含两层，下层为衬底层，材料为硅，由可动梳齿，固定梳齿，悬臂梁，微镜构成,可动梳齿与固定梳齿非等高度。上层在下层的基础上生长了一层薄薄的氮化镓材料结构。该器件工作时利用梳状电容之间异性电荷的库仑力对微镜进行驱动，由于氮化镓材料特有的性质，因此可以获得较为理想的驱动效果。本实用新型结构简单，参数易设计，创新性的在静电梳状驱动式微镜上生长氮化镓结构，在光通信和MEMS领域都有较好的应用前景和参考价值。

主权项

基于硅基氮化镓的静电梳状驱动式微镜，其特征在于，包括有：微镜(A)的两端各伸出一个悬臂梁(G)，悬臂梁的单侧各分布多个可动梳齿(E)，固定梳齿(D)则固定在外框上(F),每个可动梳齿(E)与固定梳齿(D)之间都有着相同的间隙；在微镜(A)悬梁臂(G)与可动梳齿(E)的表面上，还覆盖了一层氮化镓结构(B)。