[实用新型]膜厚的检测装置有效
| 申请号： | 201520874729.1 | 申请日： | 2015-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN205102770U | 公开（公告）日： | 2016-03-23 |
| 发明（设计）人： | 姜利 | 申请（专利权）人： | 威海华菱光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B7/06 | 分类号： | G01B7/06 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 赵囡囡;吴贵明 |
| 地址： | 264209 山东省威海*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请提供了一种膜厚的检测装置。该检测装置包括：公共电极、至少一个检测电极与检测电路，其中，各检测电极与公共电极在第一方向上相对且间隔设置，且公共电极的第一公共表面与各检测电极的第一检测表面相对，第一公共表面与各第一检测表面之间形成待测膜的检测通道；检测电路与各检测电极电连接，检测电路包括误差消除单元，误差消除单元用于消除噪音信号，噪音信号为公共电极未加载电压时，检测电极上的电信号。该检测装置利用误差消除单元消除检测电极上的噪音信号，进而消除了由于这一部分信号带来的检测误差，使得该检测装置的检测结果更加准确。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 装置 | ||
【主权项】：
一种膜厚的检测装置，其特征在于，所述检测装置包括：公共电极(10)；至少一个检测电极(20)，各所述检测电极(20)与所述公共电极(10)在第一方向上相对且间隔设置，且所述公共电极(10)的第一公共表面与各所述检测电极(20)的第一检测表面相对，所述第一公共表面与各所述第一检测表面之间形成待测膜的检测通道；以及检测电路(3)，与各所述检测电极(20)电连接，所述检测电路(3)包括误差消除单元(35)，所述误差消除单元(35)用于消除噪音信号，所述噪音信号为所述公共电极未加载电压时，所述检测电极(20)上的电信号。
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