[实用新型]用于石墨坩埚的排渣结构

摘要

本实用新型公开了一种能够有效防止石墨坩埚壁面排渣孔被堵塞的且能够提高二氧化硅颗粒吹扫效率的用于石墨坩埚的排渣结构。该排渣结构，包括石墨坩埚，石墨坩埚内设置有石英坩埚，石墨坩埚包括锅壁与锅底，锅壁上设置有排渣孔，排渣孔为喇叭口状；还包括环形石墨盖板。将排渣孔设计为喇叭口状，即便出现某个体积较大的二氧化硅颗粒将排渣孔暂时堵塞，这一堵塞的二氧化硅颗粒也会在所述高速惰性气体的冲击下很快的从喇叭口状的排渣孔处排出，从而保证排渣孔的畅通。增设的环形石墨盖板可以防止惰性吹扫气体从石英坩埚与石墨坩埚之间的间隙内冲出，使得全部的气流经由排渣孔中排出，从而大大提高了吹扫效率。适合在单晶生产设备领域推广应用。

主权项

用于石墨坩埚的排渣结构，包括石墨坩埚，石墨坩埚内设置有石英坩埚(6)，石英坩埚(6)与石墨坩埚之间存在间隙，所述石墨坩埚包括锅壁(1)与锅底(2)，所述锅壁(1)上设置有至少一个沿壁厚方向贯穿锅壁(1)的排渣孔(3)，其特征在于：所述排渣孔(3)为喇叭口状，其中排渣孔(3)的小口端(32)设置于所述锅壁(1)的内壁面上，所述排渣孔(3)的大口端(31)设置于锅壁(1)的外壁面上；还包括设置于石墨坩埚锅壁(1)上端面的用于防止惰性吹扫气体从石英坩埚(6)与石墨坩埚之间的间隙内冲出的环形石墨盖板(5)，所述环形石墨盖板(5)的外径大于或等于石墨坩埚锅壁(1)的外径，所述环形石墨盖板(5)的内径大于石英坩埚的内径且小于石英坩埚的外径，所述石墨坩埚锅壁(1)的上端面设置有环形凹槽(7)，所述环形石墨盖板(5)的下表面设置与环形凹槽(7)相匹配的环形卡板(8)，所述环形卡板(8)卡在环形凹槽(7)内，所述环形石墨盖板(5)上设置有多个用于通入惰性吹扫气体的通气孔(9)，所述石英坩埚(6)和石墨坩埚之间的间隙与多个通气孔(9)连通。