[实用新型]流量式显影自动补液装置有效
申请号: | 201520898208.X | 申请日: | 2015-11-12 |
公开(公告)号: | CN205157971U | 公开(公告)日: | 2016-04-13 |
发明(设计)人: | 周志强 | 申请(专利权)人: | 厦门市翔宏科技股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/32 | 分类号: | G03F7/32 |
代理公司: | 厦门市精诚新创知识产权代理有限公司 35218 | 代理人: | 方惠春 |
地址: | 361000 福建省厦门市火炬*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 本实用新型涉及液晶显影技术领域,特别涉及一种流量式显影自动补液装置;本实用新型补液泵设置在恒压罐和储液罐之间,上报警传感器、上液位传感器、下液位传感器和下报警传感器依次从上到下设置在恒压罐的侧壁上,且都与电控制系统电连接,补液管经电磁换向阀分出二条支路,一路经自动补液阀通入清洗槽,另一路经手动定标阀通向量杯。它能测定补的流量然后按工艺要求确定补液时间,及时准确地对药液槽进行补液,使药液槽中的溶液浓度保持稳定,从根本上保证显影电导率药液的稳定及产品在显影中的质量。 | ||
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【主权项】:
一种流量式显影自动补液装置,其特征在于:该装置包括存储显影的储液槽、补液管路、恒压罐、恒压管路、分流管路及清洁槽,其中;所述储液槽通过补液管路与恒压罐上方的进口相连通,所述补液管路上设置有用于药液流量控制的补液泵;所述恒压管路一端与恒压罐下方的出口连通,所述分流管路包括主管路及两条支管路,所述主管路与恒压管路相连,一条支管路为补液支路且其与清洗槽连通,另一条支管路为定时支路且其与能确定补液时间的量杯相连,量杯上方设置有一手动定标阀,该手动定标阀安装于定时支路上。
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