[实用新型]用于湿制程的磁式驱动装置

摘要

本实用新型关于一种用于湿制程的磁式驱动装置，夹持载具包括外框及内环框，驱动单元包括致动器及驱动杆，驱动磁铁组设置在驱动杆的一端并受驱动杆带动而旋转，旋转磁铁组可旋转地设置在外框上并邻近内环框的周缘，驱动轮套置在旋转磁铁组外并接触内环框，且随着旋转磁铁组而旋转；其中，具有驱动磁铁组的驱动杆一端伸入至驱动磁铁组的内部，旋转磁铁组受到驱动磁铁组的磁力感应而带动驱动轮旋转，内环框摩擦接触驱动轮而产生旋转；借此提供在湿制程中不会发生渗漏且速度稳定的旋转驱动装置。本实用新型使夹持载具上的待加工物能够在输送单元上旋转前进，以利均匀地对待加工物进行加工制程，更增加本实用新型的实用性。

主权项

一种用于湿制程的磁式驱动装置，其特征在于，包括:一夹持载具，包括一外框及活动结合在该外框内的一内环框；一驱动单元，包括一致动器及受该致动器带动的一驱动杆；一驱动磁铁组，设置在该驱动杆的一端并受该驱动杆的带动而旋转；一旋转磁铁组，能够旋转地设置在该外框上并邻近该内环框的周缘；以及一驱动轮，套置在该旋转磁铁组外并接触该内环框；其中，具有该驱动磁铁组的该驱动杆一端伸入至该驱动磁铁组的内部，该旋转磁铁组受到该驱动磁铁组的磁力感应而带动该驱动轮旋转，该内环框摩擦接触该驱动轮而产生旋转。