[实用新型]一种VAD反应腔体内环境气流的控制装置有效
| 申请号： | 201520910939.1 | 申请日： | 2015-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN205115282U | 公开（公告）日： | 2016-03-30 |
| 发明（设计）人： | 沈小平;满小忠;向德成;钱昆;陈坤;徐震玥;沈国峰 | 申请（专利权）人： | 江苏通鼎光棒有限公司 |
| 主分类号： | C03B37/014 | 分类号： | C03B37/014 |
| 代理公司： | 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211 | 代理人： | 杨慧玲 |
| 地址： | 215200 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种VAD反应腔体内环境气流的控制装置，包括沉积腔体、包灯、芯灯、伸入沉积腔体的引杆、以及沉积腔体内带有过孔的隔板、以及与外部包层沉积腔抽风系统连接的上抽风口、以及与外部芯层沉积腔抽风系统连接的下抽风口、以及沉积腔体内穿过隔板过孔的靶棒；靶棒通过引杆实现升降和旋转；隔板将沉积腔体分隔成上部的包层沉积腔和下部的芯层沉积腔；包灯和上抽风口对应处于包层沉积腔内的靶棒部分设置；芯灯和下抽风口对应处于芯层沉积腔内的靶棒部分设置。本实用新型能够减少甚至隔离芯层和包层火焰之间的相互干扰，实现芯层和包层独立沉积，芯层沉积腔和包层沉积腔各自抽风的独立也使得沉积环境气流得到更有效的控制。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 vad 反应 体内 环境 气流 控制 装置 | ||
【主权项】：
一种VAD反应腔体内环境气流的控制装置，其特征在于：包括沉积腔体、包灯、芯灯、伸入沉积腔体的引杆、以及沉积腔体内带有过孔的隔板、以及与外部包层沉积腔抽风系统连接的上抽风口、以及与外部芯层沉积腔抽风系统连接的下抽风口、以及沉积腔体内穿过隔板过孔的靶棒；所述靶棒固定在引杆上，通过引杆实现升降和旋转；所述隔板将沉积腔体分隔成上部的包层沉积腔和下部的芯层沉积腔；所述包灯和所述上抽风口对应处于所述包层沉积腔内的靶棒部分设置；所述芯灯和所述下抽风口对应处于所述芯层沉积腔内的靶棒部分设置。
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