[实用新型]一种适用于激光烧蚀靶带的涂覆机有效

专利信息
申请号: 201520922467.1 申请日: 2015-11-18
公开(公告)号: CN205165076U 公开(公告)日: 2016-04-20
发明(设计)人: 吴修伟;吴立志;王晓勇;沈瑞琪;叶迎华 申请(专利权)人: 南京理工大学
主分类号: B05C3/10 分类号: B05C3/10;B05C11/04;B05C13/02;B05C15/00
代理公司: 南京理工大学专利中心 32203 代理人: 朱显国
地址: 210094 *** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型提供一种适用于激光烧蚀靶带的涂覆机,该涂覆机包括在工作台上依次设置的前置驱动装置、前支架台、涂覆装置,后支架台,后置驱动装置。本实用新型提供的涂覆机尺寸较小,且带有遥控操作设备,可放入真空烘箱内,进行真空涂覆,减少了靶带表面气孔数量。采用双向滚动的电机可以进行连续涂覆,同时放置多个滚动轮和多个刮刀,提高涂覆效率,且放带距离可以调节,兼容多种宽度的基带。通过设置升降桌以及带有凹槽的长方形模具,可以有效约束激光烧蚀靶带的涂覆机中的流体张力、涂覆流动性较大的液体。
搜索关键词: 一种 适用于 激光 烧蚀靶带 涂覆机
【主权项】:
一种适用于激光烧蚀靶带的涂覆机,其特征在于,在所述的涂覆机的工作台(6)上依次设置前置驱动装置(1)、前支架台(2)、涂覆装置(3),后支架台(4),后置驱动装置(5);所述的前置驱动装置(1)包括前置滚动轮(7)、前转动轴(8)、前电机(9);其中,前转动轴(8)与前电机(9)相连接,前置滚动轮(7)通过固定螺丝(21)固定于前转动轴(8)上;所述的涂覆装置(3)包括前置长方形模具(10)、搭放平台(11)、刮刀(12)、后置长方形模具(13)、升降桌(14);其中,前置长方形模具(10)放置于搭放平台(11)上,刮刀(12)放置于搭放平台(11)凸起处,升降桌(14)放置于搭放平台(11)与后支架台(4)之间,后置长方形模具(10)放置于升降桌(14)上;所述的后置驱动装置(5)包括后滚动轴(15)、后置滚动轮(16)、后电机(17);其中,后转动轴(15)与后电机(17)相连接,后置滚动轮(16)通过固定螺丝(21)固定于后转动轴(15)上。
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