[实用新型]一种硅片用显影机有效
| 申请号： | 201520930863.9 | 申请日： | 2015-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN205210515U | 公开（公告）日： | 2016-05-04 |
| 发明（设计）人： | 张运;孙者利 | 申请（专利权）人： | 济南卓微电子有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/26 | 分类号： | G03F7/26 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 250200 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种硅片用显影机，包括机台，在机台上设有显影液槽，显影机还包括花篮传动部分，花篮传动部分包括动力部件，动力部件包括转轴，在转轴上安装有偏心轮，偏心轮连接挂架。本新型在现有技术的基础上增设了花篮传动部分，该部分可带动连接在其上的花篮上升或者下降，从而可将硅片浸入显影液或者从显影液中提出，提出后花篮高于显影液液面，残留在硅片的液体可直接流入显影液槽内，避免了显影液对机台及周围环境造成污染，显影中还可通过传动部分晃动花篮，以改善显影效果；本新型具有显影效果好、使用便利、对机台无污染之优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 显影 | ||
【主权项】：
一种硅片用显影机，包括机台，在所述机台上设有显影液槽，其特征在于：所述显影机还包括花篮传动部分，所述花篮传动部分包括动力部件，所述动力部件包括转轴，在所述转轴上安装有偏心轮，所述偏心轮连接挂架。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于济南卓微电子有限公司，未经济南卓微电子有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201520930863.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：减少电脑散热风扇叶片灰尘的方法及其实现电路
- 下一篇：一种玻璃商标曝光设备
