[实用新型]一种用于纳米压印过程中的改进装置有效
| 申请号： | 201520941241.6 | 申请日： | 2015-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN205384442U | 公开（公告）日： | 2016-07-13 |
| 发明（设计）人： | 王清;张金涛;马立俊;刘华伟;张睿;郑旭;张艳菊;张星远;杜文全;郑通;邢晓婷 | 申请（专利权）人： | 山东科技大学 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266590 山东省青*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于纳米压印过程中的改进装置，包括曝光光源、观测光源及观测孔，所述观测光源安装在紫外曝光装置中，所述曝光光源采用LED紫外灯，所述观测孔被观测光源与曝光光源环绕。与现有技术相比，本实用新型使压印过程的实时观测成为可能，克服了压印过程中模板与基板对准精度较低的问题，保证了纳米结构的精确转移。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 纳米 压印 过程 中的 改进 装置 | ||
【主权项】：
一种用于纳米压印过程中的改进装置，其特征在于：包括曝光光源、观测光源及观测孔，所述观测光源安装在紫外曝光装置中，所述观测孔被观测光源与曝光光源环绕。
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