[实用新型]一种高回转精度微柱状电极在线电化学制备装置

摘要

本实用新型公开了一种高回转精度微柱状电极在线电化学制备装置，阴极板为带有小孔的金属板，设置于电解液槽中，控制系统控制电解加工机床做x、y和z向运动，使夹持在电解加工机床夹头的工件位于阴极板小孔中心，且浸入电解液中，使电解加工机床上的电主轴带动工件旋转，利用直流脉冲电源给阳极工件和阴极板施加电压，霍尔电流传感器检测直流脉冲电源电流，将电流信号传递给控制系统，从而加工得到高回转精度的柱状电极。本实用新型通过控制加工过程中电场流场均匀，从而保证加工电极的高回转精度，并提高了加工的稳定性和精度；同时反馈控制加工的电流，可以控制电极周围扩散层的厚度适中，从而保证加工的电极形状为圆柱状。

主权项

一种高回转精度微柱状电极在线电化学制备装置，其特征是：包括直流脉冲电源、电解加工机床、控制系统和霍尔电流传感器，其中，阴极板为带有小孔的金属板，设置于电解液槽中，控制系统控制电解加工机床做x、y和z向运动，使夹持在电解加工机床夹头的工件位于阴极板小孔中心，且浸入电解液中，电解加工机床的电主轴使工件保持旋转，以工件为阳极，阴极板为阴极，利用直流脉冲电源给工件和阴极板施加电压，霍尔电流传感器检测加工电流，并通过数据采集单元将电流信号传递给控制系统，控制系统根据电流信号的大小，动态小幅调整直流脉冲电源的电压幅值，使加工的电流随时间按理论规律变化。