[实用新型]滤光片真空蒸镀设备有效
| 申请号： | 201520988318.5 | 申请日： | 2015-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN205188418U | 公开（公告）日： | 2016-04-27 |
| 发明（设计）人： | 赵培;何清 | 申请（专利权）人： | 苏州奥夫特光学技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙) 11357 | 代理人： | 刘洪勋 |
| 地址： | 215153 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种滤光片真空蒸镀设备，包括安装板、转位机构、水冷盘机构及蒸发舟，转位机构穿过安装板并挂设在安装板上，穿过安装板的转位机构的一端与水冷盘机构驱动连接，安装板上设置有第一电极和第二电极，沿水冷盘机构的外圈和内圈上分别插接有12根外电极和4根内电极，外电极与第一电极相配合布置，4根内电极通过圆环相连通设置，且与第二电极相配合布置，第一电极和第二电极均通过连接线与蒸发电极机构相连通，蒸发舟设置在水冷盘机构的正上方，蒸发舟上设置有蒸发片，呈径向设置。本实用新型通过转位机构与水冷盘机构及水冷盘机构与蒸发舟相互之间配合使用，使其能提高工作效率，同时也能延长工作时间，从而提高产量。 | ||
| 搜索关键词： | 滤光 真空 设备 | ||
【主权项】：
滤光片真空蒸镀设备，其特征在于：包括安装板(1)、转位机构(2)、水冷盘机构(3)及蒸发舟(4)，所述转位机构(2)穿过安装板(1)并挂设在安装板(1)上，穿过安装板(1)的所述转位机构(2)的一端与水冷盘机构(3)驱动连接，所述安装板(1)上设置有第一电极(5)和第二电极(6)，所述第一电极(5)和第二电极(6)分设在转位机构(2)的左右两侧，沿所述水冷盘机构(3)的外圈和内圈上分别插接有12根外电极(7)和4根内电极(8)，相邻的所述外电极(7)之间呈30°布置，且相邻的所述内电极(8)呈90°布置，所述外电极(7)与第一电极(5)相配合布置，4根内电极(8)通过圆环相连通设置，且与第二电极(6)相配合布置，所述第一电极(5)和第二电极(6)均通过连接线(9)与蒸发电极机构(10)相连通，所述蒸发舟(4)设置在水冷盘机构(3)的正上方，所述蒸发舟(4)上设置有蒸发片(11)，呈径向设置，所述蒸发片(11)的一端与外电极(7)相连，所述蒸发片的另一端与内电极(8)相连布置。
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