[实用新型]一种自动硅片匀胶机

摘要

本实用新型涉及一种自动硅片匀胶机，包括机柜、上料机构、涂胶机构、烘干机构、移片机构、下料机构、片篮和电气控系统，其特征在于：上料机构、下料机构分别固定于机柜的工作台长向两端并同一条中心线上，在工作台的同一条中心线上并上料机构和下料机构间，依次固定涂胶机构、烘干机构，移片机构固定工作台的下面，移片机构的载片位于涂胶机构、烘干机构的上方，技术效果是实现了自动上下料、涂胶、烘干等工艺流程，自动化高、精度高，涂胶均匀，厚度可控，减少了员工的劳动量，同时也避免了对硅片的表面划伤。

主权项

 一种自动硅片匀胶机，包括机柜(1)、上料机构(2)、涂胶机构(3)、烘干机构(4)、移片机构(5)、下料机构(6)和片篮（7），其特征在于：上料机构(2)、下料机构(6)分别固定于机柜(1)的工作台长向两端并同一条中心线上，在工作台的同一条中心线上并上料机构(2)和下料机构(6)间，依次固定涂胶机构(3)、烘干机构(4)，移片机构(5) 固定工作台的下面，移片机构(5)的载片（28）位于涂胶机构(3)、烘干机构(4)的上方，所述的上料机构(2)，包括托举气缸（20）、运送带（21）、升降架（22）、上料座（23）、丝杠螺母（24）、滑块（25），托举气缸（20）固定在机柜(1) 工作台上，运送带（21）通过垫块固定在机柜(1) 工作台上，上料座（23）通过侧板（26）与固定，升降架（22）固定在滑块（25）上，滑块（25）连接在导轨上，导轨固定在上料座（23）内，丝杠螺母（24）中的丝杠固定在上料座（23）内、螺母固定在升降架（22）内；所述的涂胶机构(3)，包括胶管（1）、点胶机（2）、真空吸盘(3)、调速电机（4）、升降气缸（5）、主轴套管（6）、升降板（7）、导轨（8）和滑块（9），导轨（8）固定在自动硅片匀胶机下侧机板上，升降气缸（5）通过滑块（9）固定于导轨（8）上并顶住升降板（7）控制升降板（7）上下运动，升降板（7）通过主轴套管（6）与真空吸盘(3)连接，控制真空吸盘(3) 的上下运动，调速电机（4）与真空吸盘(3)主轴相连，控制真空吸盘(3) 的转速，真空吸盘(3)置于自动硅片匀胶机的工作台的点胶工位上，胶管（1）固定于点胶机（2）上，点胶机（2）固定于自动硅片匀胶机的工作台上，使胶管（1）正对准真空吸盘（3）中心点；所述的烘干机构(4)，由筋板（10）、支撑螺钉（12）、支撑架（13）、烘干托盘（14）、加热棒（15）、钢丝支架（16）、隔热托盘（17）、升降块（18）、气缸（19）组成，筋板（10）固定在机柜(1) 工作台下端面，隔热托盘（17）固定在机柜(1) 工作台上，烘干托盘（14）通过支撑螺钉（12）支撑在隔热托盘（17）上，支撑架（13）固定在隔热托盘（14）下方，气缸（19）固定在支撑架（13）下方，升降块（18）通过浮动接头连接在气缸（19）杆上来完成上下运动，钢丝支架（16）固定在升降块（18）上，加热棒（15）放在烘干托盘的圆孔内；所述的下料机构(6)的机械结构与上料机构(2)相同，运动方向与上料机构(2)运动方向相反； 所述的移片机构(5)，包括三位置气缸（25）、直线轴承（26）、光轴（27）、载板（28）、联动块（29），其中，硅片置于载板（28）上，三位置气缸（25）固定在机柜(1) 工作台下方，联动块（29）穿在机柜(1) 工作台中，联动块（29）的下端与气缸活塞杆连接，上端与载板（28）连接，使载板（28）位于机柜(1) 工作台上的涂胶机构(3)、烘干机构(4)上方，直线轴承（26）固定在机柜(1) 工作台上，光轴（27）穿入直线轴承（26）且光轴两端分别固定在两个导轨固定块上，导轨固定块固定在载板（28）上，使联动块（29）带动载板（28）做直线往返运动。