[实用新型]一种常压辉光等离子体装置有效
| 申请号： | 201521010831.3 | 申请日： | 2015-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN205160898U | 公开（公告）日： | 2016-04-13 |
| 发明（设计）人： | 陈晓;吴海华;洪梦华 | 申请（专利权）人： | 上海至纯洁净系统科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 上海麦其知识产权代理事务所(普通合伙) 31257 | 代理人： | 董红曼 |
| 地址： | 200241 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种常压辉光等离子体装置，包括：进气系统、中频等离子体腔室、射频等离子体腔室和排气系统；进气系统设置于中频等离子体腔室的一端；射频等离子体腔室的一端与中频等离子体腔室的另一端固定联接，并且排气系统设置于射频等离子体腔室的另一端；通过进气系统排入的气体经由中频等离子体腔室进入射频等离子体腔室，并最终经由排气系统排出。具有这样的结构，当气体通过进行系统进入装置后，在该装置中首先使用中频电源激励在中频等离子体腔室中产生等离子体，该等离子体会继续传播至射频等离子体腔室，从而降低RF电源的击穿电压，进而顺利地产生汤生放电，最终在大面积内产生均匀辉光放电。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 常压 辉光 等离子体 装置 | ||
【主权项】：
一种常压辉光等离子体装置，其特征在于，包括：进气系统、中频等离子体腔室、射频等离子体腔室和排气系统；其中所述进气系统设置于所述中频等离子体腔室的一端，并且所述进气系统被构造为以预定速度将气体排入所述中频等离子体腔室；所述射频等离子体腔室的一端与所述中频等离子体腔室的另一端固定联接，并且所述排气系统设置于所述射频等离子体腔室的另一端；其中通过所述进气系统排入的所述气体经由所述中频等离子体腔室进入所述射频等离子体腔室，并最终经由所述排气系统排出。
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