[实用新型]一种带隔离阀的单晶炉

摘要

本实用新型公开了一种带隔离阀的单晶炉，属于单晶炉的制造领域。本实用新型包括侧开式副室、炉筒和晶体提升机构，侧开式副室下部设有隔离阀，隔离阀包括隔离电机、连轴、阀座、阀盖和转动臂，阀座安装于侧开式副室下部横截面上，连轴的一端固连有连轴齿轮，连轴的另一端通过转动臂与阀盖固连，阀盖与阀座上的圆形通孔相配合；连轴齿轮上固连有光电感应块三，光电限位开关四、光电限位开关五分别位于光电感应块三的两侧；炉筒位于侧开式副室的下方且炉筒内部与侧开式副室内部相连通，晶体提升机构安装于侧开式副室的上方。本实用新型主要解决了采用人力进行隔离操作容易造成掉棒风险的问题。

主权项

一种带隔离阀的单晶炉，其特征在于：包括侧开式副室(2)、炉筒(3)和晶体提升机构(5)，所述侧开式副室(2)为一体式结构，该侧开式副室(2)包括内部设有空腔的副室主体(2‑1)和门板(2‑2)，所述副室主体(2‑1)一侧面上设有开口，所述门板(2‑2)通过铰链(2‑3)转动连接在副室主体(2‑1)上，门板(2‑2)与副室主体(2‑1)侧面上的开口相配合；所述铰链(2‑3)包括主体连接件(2‑3‑1)、门板连接件(2‑3‑2)和转轴(2‑3‑3)，所述主体连接件(2‑3‑1)与副室主体(2‑1)固连，所述门板连接件(2‑3‑2)与门板(2‑2)固连，所述门板连接件(2‑3‑2)的上下两端均向外延伸构成转轴(2‑3‑3)，所述主体连接件(2‑3‑1)的上下两端均设有腰型孔(2‑3‑1‑1)，所述转轴(2‑3‑3)安装在所述腰型孔(2‑3‑1‑1)内；所述侧开式副室(2)下部设有隔离阀(4)，所述隔离阀(4)包括隔离电机(4‑1)、连轴(4‑2)、阀座(4‑3)、阀盖(4‑4)和转动臂(4‑5)，所述阀座(4‑3)安装于侧开式副室(2)下部横截面上，阀座(4‑3)上设有圆形通孔；所述隔离电机(4‑1)的输出轴上固连有隔离电机齿轮(4‑1‑1)，连轴(4‑2)的一端固连有连轴齿轮(4‑2‑1)，所述隔离电机齿轮(4‑1‑1)与连轴齿轮(4‑2‑1)啮合传功；所述连轴(4‑2)的另一端通过转动臂(4‑5)与阀盖(4‑4)固连，阀盖(4‑4)与阀座(4‑3)上的圆形通孔相配合；所述连轴齿轮(4‑2‑1)上固连有光电感应块三(4‑6)，光电限位开关四(SQ4)、光电限位开关五(SQ5)分别固定于侧开式副室(2)侧面的两个支架上且光电限位开关四(SQ4)、光电限位开关五(SQ5)分别位于光电感应块三(4‑6)的两侧；所述炉筒(3)位于侧开式副室(2)的下方且炉筒(3)内部与侧开式副室(2)内部相连通，所述晶体提升机构(5)安装于侧开式副室(2)的上方。