[实用新型]一种CZ直拉法大直径单晶炉

摘要

本实用新型公开了一种CZ直拉法大直径单晶炉，属于CZ直拉法大直径单晶炉的制造领域。本实用新型包括侧开式副室、炉筒和晶体提升机构，侧开式副室为一体式结构；副室主体与门板相配合的侧面开口上设有一圈密封圈，该密封圈包括密封圈本体和弧形凸起，密封圈本体的一侧面上设有弧形凸起，副室主体与门板相配合的侧面开口上设有一圈密封圈槽，密封圈上的弧形凸起嵌入上述密封圈槽内；炉筒位于侧开式副室的下方且炉筒内部与侧开式副室内部相连通，侧开式副室下部设有隔离阀，晶体提升机构安装于侧开式副室的上方。本实用新型主要解决了现有单晶炉副室因机械加工不足造成的密封漏气情况。

主权项

一种CZ直拉法大直径单晶炉，其特征在于：包括侧开式副室(2)、炉筒(3)和晶体提升机构(5)，所述侧开式副室(2)为一体式结构，该侧开式副室(2)包括内部设有空腔的副室主体(2‑1)和门板(2‑2)，所述副室主体(2‑1)一侧面上设有开口，所述门板(2‑2)通过铰链(2‑3)转动连接在副室主体(2‑1)上，门板(2‑2)与副室主体(2‑1)侧面上的开口相配合；所述副室主体(2‑1)与门板(2‑2)相配合的侧面开口上设有一圈密封圈(2‑4)，该密封圈(2‑4)包括密封圈本体(2‑4‑2)和弧形凸起(2‑4‑1)，密封圈本体(2‑4‑2)的横截面为中部设有通孔的矩形，密封圈本体(2‑4‑2)的一侧面上设有弧形凸起(2‑4‑1)；副室主体(2‑1)与门板(2‑2)相配合的侧面开口上设有一圈密封圈槽，密封圈(2‑4)上的弧形凸起(2‑4‑1)嵌入上述密封圈槽内；所述炉筒(3)位于侧开式副室(2)的下方且炉筒(3)内部与侧开式副室(2)内部相连通，侧开式副室(2)下部设有隔离阀(4)，所述晶体提升机构(5)安装于侧开式副室(2)的上方。