[实用新型]用于化学湿法单面减薄单晶硅片的模具

摘要

本实用新型公开了一种用于化学湿法单面减薄单晶硅片的模具，包括主体部分，盖子部分和观测部分，各部分的要求：（a）主体形状为正多棱柱形，内腔室为圆柱体；棱柱一侧封闭，一侧为凹槽形开口结构，凹槽有内螺纹；棱柱顶面开口，有相连的两个边长不同的正方形；小正方形侧面存在对称凹槽，用于嵌合观测部件，大正方形开口为添加溶液位置。（b）盖子部分为凸台圆环形；凸台外侧车有外螺纹，用于结合主体部分凹槽螺纹。（c）观测部件整体大小与主体部分顶部小正方形开口大小一致；侧面对称凸起用于固定观测部件；下部开有孔洞形通道用于固定LED灯头。本实用新型模具具有操作简单，可原位观测硅片，密封性好等优点。

主权项

用于化学湿法单面减薄单晶硅片的模具，其特征是：共计三个部分，八棱柱形的主体部分，凸台圆环形盖子部分，长方体形观测部件，主体部分：主体部分轮廓外部具体形状为正八棱柱形，实验时顶部开口朝上放置；主体部分内部掏空的形状为圆柱形，用于储存减薄溶液；棱柱一侧封闭，另一侧为与腔室同心圆的凹槽形开口结构，开口直径比存储减薄溶液的内腔室直径大14‑16mm左右，凹槽深度在10‑15mm之间，凹槽深度至少包括两个橡胶垫圈，一个硅片，一个透明树脂片的厚度，且凹槽有内螺纹；凹槽形开口位置是放置和固定硅片的位置，需要加橡胶垫圈确保密封性，需要加装与硅片尺寸一致的透明树脂片支撑和保护硅片；棱柱顶面开口中的小正方形部分侧面存在左右对称凹槽，用于紧密结合观测部件，大正方形开口为添加减薄溶液位置；盖子部分：盖子大圆环外径与主体部分轮廓中八棱柱内切圆直径相同，盖子总体内径与主体部分内腔室直径相同；盖子小圆环外径与主体部分侧面凹槽形开口直径一直；小圆环外侧，即凸台外侧车有与顶部的开口凹槽匹配的外螺纹，可通过螺纹拧紧与主体部分紧密结合；观测部件：整体大小与主体部分中顶部的开口中小正方形开口尺寸一致，侧面存在左右对称的凸起，可以与小正方形开口两侧凹槽嵌合；下部开有孔洞形通道用于放置并固定LED灯头。